Organosilikon Ara Maddesi · Sililleyici Ajan
Heksametildisilazan (HMDS)
(Bis(trimetilsilil)amin / HMDS Susuz)
| CAS No. | 999-97-3 |
| IUPAC Adı | 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan |
| Eş anlamlılar | HMDS, heksa metil disilazan, 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan, bis(trimetilsilil)amin, heksametilsilazan, N-(trimetilsilil)trimetilsililamin |
| Moleküler Formül | C₆H₁₉NSi₂ [(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃] |
| Molekül Ağırlığı | 161,39 gr/mol |
| GTİP Kodu | 2931900090 |
| Sınıf Mevcut | Endüstriyel İlaç Elektronik (5N / 6N) |
Heksametildisilazan (HMDS) Nedir? Genel Bakış
Heksametildisilazan (HMDS)olarak da yazılırheksa metil disilazanveya1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan(CAS 999-97-3), karakteristik amonyak benzeri bir kokuya sahip, renksiz, oldukça uçucu bir organosilikon bileşiğidir.HMDS'nin tam formu:Heksametildisilazan -, bir nitrojen atomu ile köprülenen iki trimetilsilil grubundan oluşan yapısını yansıtan bir isim:(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. Bu benzersiz disilazan mimarisi, protik fonksiyonel grupların (hidroksil, amino, karboksil) etkili sililasyonunu ve olağanüstü yüzey hidrofobizasyonunu sağlayarak HMDS'yi yarı iletken litografi, farmasötik sentez, gelişmiş malzemeler ve yüzey işleme endüstrilerinde yeri doldurulamaz bir kimyasal reaktif haline getirir.
Trimetilklorosilan (TMCS) gibi geleneksel sililleme ajanlarının aksine HMDS, daha yumuşak reaksiyon koşulları, daha yüksek sililasyon verimi ve katı saflık ve proses temizliğinin gerekli olduğu üst düzey üretim için önemli ölçüde daha düşük -ürün üretimi - kritik avantajlar sunar. HMDS, amonyak açığa çıkarmak için nemle hızla reaksiyona girer, bu nedenle tüm kalitelerin nitrojen koruması altında işlenmesi ve saklanması gerekir.
Avrupa, Kuzey Amerika, Güneydoğu Asya ve Orta Doğu'daki alıcılara hizmet veren, gram- düzeyindeki reaktif varillerinden endüstriyel IBC kutularına kadar esnek ambalajlamayla Endüstriyel, Farmasötik ve Elektronik Sınıf HMDS'yi rekabetçi fiyatlarla tedarik etmek için SMIC ve Yangtze Memory - onaylı tesisler de dahil olmak üzere önde gelen Çinli üreticilerle - ortaklık yapıyoruz.
HMDS'nin Fiziksel ve Kimyasal Özellikleri
HMDS Teknik Özellikleri - Tüm Sınıflar
| Şartname | Endüstriyel Sınıf Yüzey İşlem / Dolgular |
Farmasötik Sınıf İlaç Sentezi (GMP) |
Elektronik Sınıf Yarı İletken Litografi |
|---|---|---|---|
| Saflık (GC) | %98,0'dan büyük veya eşit | %99,5'ten büyük veya eşit | %99,999'dan büyük veya ona eşit (5N) Gelişmiş düğümler için 6N'ye kadar |
| Su İçeriği | %0,1'den az veya buna eşit | %0,02'den az veya buna eşit | %0,005'ten az veya eşit (50 ppm'den az veya eşit) |
| Renk (Pt-Co) | 30'dan küçük veya ona eşit | 10'dan küçük veya ona eşit | 5'ten küçük veya eşit |
| Kaynama noktası | 125–127 derece | 126,0–126,5 derece | 126,2 ± 0,2 derece |
| Alevlenme noktası | 17 derece (kapalı kap) | 17 derece (kapalı kap) | 17 derece (kapalı kap) |
| Metal Kirlilikleri | Belirtilmedi | Tek iyon 10 ppm'den az veya eşit | Tek iyon 1 ppb'den küçük veya ona eşit (14 nm düğümler için ppt düzeyi) |
| Raf ömrü | 6 ay (N₂-mühürlü) | 12 ay (N₂-mühürlü, karanlık) | 18 ay (ultra-temiz N₂-mühürlü) |
| Ambalajlama | 180 kg çelik varil 1000 kg IBC çantası |
20L HDPE varil 200L N₂-mühürlü çelik varil |
10L kuvars-astarlı varil 200L ultra-temiz çelik varil |
GB/T 30301-2013, REACH ve TSCA ile uyumludur. COA, SDS/MSDS ve üçüncü taraf test raporları istek üzerine sağlanır.
HMDS Kullanım Alanları ve Uygulama Alanları
1. Yarı İletken Litografi - Fotodirenç Yapışma Arttırıcısı
HMDS endüstri standardıdır-yapışma arttırıcı, astar ve hidrofobik kaplama maddesisilikon plaka litografisinde,Toplam HMDS tüketiminin %40'ı. Fotorezist kaplamadan önce buhar-fazı astarı (VPP) olarak uygulanan HMDS, yoğun bir hidrofobik trimetilsilil tabakası oluşturmak üzere levha üzerindeki yüzey hidroksil grupları (Si–OH) ile reaksiyona girer. Bu, fotorezistin yapışmasını önemli ölçüde artırır, geliştirme sırasında direncin soyulmasını önler ve kenar boncuk oluşumunu ortadan kaldırır - ve en ince ayrıntısına kadar doğru ince devre desenlemesini sağlar.28 nm düğümler ve altı.
Gelişmiş yarı iletken düğümler 14nm, 7nm ve ötesine ilerledikçe saflık gereksinimleri de arttı5N (%99,999) ve 6N notlarıppb-ppt seviyesinde kontrol edilen metal safsızlıkları ile. Elektronik-sınıf HMDS ürünlerimiz, SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory ve UMC gibi önde gelen fabrikaların yeterlilik standartlarını karşılayan gelişmiş eser metal giderme teknolojisini kullanır.
Referans:YARI Standartları - Yarı İletken Malzemelerin Saflığı ↗
2. İlaç Endüstrisi - İlaç Sentezi için Sililleyici Ajan
Farmasötik sentezde HMDS yaygın olarak kullanılmaktadır.sililleyici ajanilaç ara maddelerindeki reaktif protik fonksiyonel grupları (–OH, –NH₂, –COOH) korumak, istenmeyen yan reaksiyonları önlemek ve reaksiyon seçiciliğini ve hedef ürün verimini önemli ölçüde artırmak. Anti-tümör, antiviral ve antialerjik aktif farmasötik bileşenlerin (API'ler) sentezinde önemli bir reaktiftir.
Farmasötik-sınıf HMDS'miz (%99,5'e eşit veya daha yüksek saflık, GMP-uyumlu), önde gelen farmasötik CDMO işletmeleri tarafından doğrulanmıştır ve ilaç Ar-Ge'si ve büyük-ölçekli üretim için gerekli olan istikrarlı parti kalitesini sağlar.
3. Malzemeler ve Yüzey İşlem - Hidrofobizasyon Maddesi
HMDS son derece etkilidirhidrofobizasyon ajanıfüme silika ve titanyum dioksit gibi inorganik dolgu maddeleri için. HMDS ile yüzey modifikasyonu, silikon kauçuk ve epoksi reçine kompozitlerinde dolgu matrisi uyumluluğunu önemli ölçüde geliştirerek mekanik özellikleri (tokluk, çekme mukavemeti) ve hava koşullarına dayanıklılığı artırır. OLED kapsülleme malzemelerinde ve fotovoltaik modül cam işlemede yaygın olarak kullanılır; burada HMDS-modifiye edilmiş yüzeyler belirgin şekilde iyileştirilmiş nem bariyeri performansı gösterir ve zorlu dış mekan ortamlarında servis ömrünü uzatır.
İçincam, seramik ve metal yüzey işlemeHMDS, nem emilimini ve korozyonu önleyen yoğun, kovalent bağlı bir hidrofobik film oluşturur.
4. Analitik Kimya ve İnce Kimyasallar
Analitik kimyada HMDS,türetme reaktifiprotik bileşiklerin (alkoller, fenoller, karboksilik asitler) GC analizi için. Silile edilmiş türevler daha yüksek uçuculuk ve gelişmiş kromatografik ayırma sergileyerek karmaşık matrislerdeki eser maddelerin hassas niceliksel analizine olanak tanır.
HMDS, ince kimyasallarda, günlük kimyasallar ve tekstil baskısında kullanılan üst düzey silikon yüzey aktif maddeler ve silikon reçineler için bir ara madde olarak hizmet eder. Elektronik-sınıf HMDS pazarının, yarı iletken yerelleştirmesinin hızlandırılması ve farmasötik CDMO kapasitesinin genişletilmesi sayesinde 2026'ya kadar %18,3'lük bir Bileşik Büyüme Oranı ile büyümesi öngörülüyor.
Referans:ECHA REACH Kaydı - HMDS ↗
5. Temel Olarak HMDS - LiHMDS, NaHMDS ve KHMDS
Sililleyici bir madde olarak rolünün ötesinde HMDS, yaygın olarak kullanılan metal amid bazlarının önemli bir öncüsüdür:LiHMDS(lityum heksametildisilazid, lityum bis(trimetilsilil)amid),NaHMDS(sodyum heksametildisilazid) veKHMDS(potasyum heksametildisilazid). Bu güçlü, engellenmiş bazlar, seçici enolat oluşumu, yönlendirilmiş deprotonasyon ve sterik kütle ve kemoseçiciliğin kritik olduğu asimetrik reaksiyonlar için farmasötik ve ince kimyasal sentezlerde temel reaktiflerdir.
LiHMDS(CAS 4039-32-1) en yaygın kullanılanıdır, yüksek bazikliği (THF'de pKa ~30) ve eterik solventlerdeki mükemmel çözünürlüğü nedeniyle ödüllendirilir.NaHMDSVeKHMDSartan reaktivite sunar ve LiHMDS'nin yeterince reaktif olmadığı durumlarda kullanılır. Üçünün de temel başlangıç malzemesi olarak HMDS'den üretilmesi, yüksek-saflıkta HMDS tedarikini üretimleri açısından kritik hale getiriyor.
LiHMDS, NaHMDS ve KHMDS üretimi için hammadde olarak uygun, yüksek-saflıkta HMDS sağlıyoruz. Toplu özellikler için bizimle iletişime geçin.
HMDS Nasıl Yapılır? Üretim Süreci
HMDS ticari olarak iki ana yolla üretilmektedir. Gelenekselklorosilan amonoliz işlemitrimetilklorosilanı (TMCS) aşırı amonyakla reaksiyona sokar: 2 (CH₃)₃SiCl + NH₃ → (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + 2 HCl. Yan-ürün HC1 nötralize edilir ve ham ürün, çok-aşamalı arıtmayla saflaştırılır. Bir alternatifyeşil transaminasyon teknolojisikatalitik koşullar altında heksametildisiloksan (HMDSO) ve amonyak kullanarak klorür yan ürünlerini ve çevresel etkiyi azaltır-.
İş ortağı imalatçılarımız, çok-aşamalı düzeltme ve moleküler elek adsorpsiyonlu saflaştırma sistemlerine sahip sürekli amonoliz üretim hatlarını çalıştırarak tüm sınıflarda partiden partiye tutarlı saflık sağlıyor.
HMDS Depolama, Stabilite ve Güvenlik Kullanımı
Depolama Gereksinimleri
Serin (0–25 derece), kuru, iyi-havalandırılmış bir yerde saklayınpatlamaya- dayanıklı depoısı kaynaklarından, açık alevlerden ve doğrudan güneş ışığından uzak tutun. Tüm ambalajlar, nemi ve havayı izole etmek için nitrojen-sızdırmaz hale getirilmelidir - HMDS, ortam nemi ile temas ettiğinde hızla hidrolize olur. Endüstriyel sınıf: nitrojen-sızdırmaz çelik variller. Farmasötik ve Elektronik sınıfları: ultra-temiz nitrojen-mühürlü HDPE veya kuvars-astarlı variller (elektronik sınıf için ISO 14644 temiz ambalaj). Oksitleyici maddelerden ve güçlü asitlerden minimum 20-ayaklık mesafeyle veya 30-dakikalık yangına dayanıklı-bir bariyerle ayırın. Maksimum yığın: 180 kg'lık çelik variller için 2 katman. Depoyu patlamaya dayanıklı aydınlatma ve kuru tozlu veya CO₂ yangın söndürücülerle donatın.
Stabilite Notu
HMDS kuru ve nitrojen altında saklandığında kimyasal olarak stabildir. Neme maruz kalmak hidrolize neden olur; Güçlü asitlere veya oksitleyicilere maruz kalmak şiddetli reaksiyonlara neden olabilir. Hızlandırılmış buharlaşmayı önlemek için 30 derecenin üzerindeki sıcaklıklara uzun süre maruz kalmaktan kaçının.
Güvenlik ve Kullanım (SDS / MSDS Özeti)
KKD gerekli:Anti-statik giysiler, nitril kauçuk eldivenler (yüksek-riskli operasyonlar için üç-katman), kimyasal koruyucu gözlükler, yüz siperi ve organik buhar maskesi (kapalı alanlar için SCBA). Operasyonlar sırasında yemek yemeyin, içmeyin ve sigara içmeyin.
Dökülme tepkisi:Ateşleme kaynaklarını derhal kesin ve rüzgara karşı tahliye edin. Dökülme alanını izole edin. Kuru kum veya soda külüyle emdirin - su KULLANMAYIN. Emilen malzemeyi imha edilmek üzere kapalı kaplara aktarın. Kanalizasyona veya toprağa boşaltmayın.
İlk yardım:Cilt - kirlenmiş giysileri çıkarın, sabun ve suyla 15 dakikadan uzun veya eşit bir süre yıkayın. Gözler - 15 dakika veya daha uzun süre suyla yıkanır, tıbbi yardım isteyin. Teneffüs etme - hemen temiz havaya çıkın. Yutma - kusturmaya neden olmaz; acil tıbbi yardım isteyin. Tam SDS/MSDS PDF'si satış ekibimizden temin edilebilir.
HMDS Fiyatı - 2025 Piyasa Referansı
HMDS fiyatı(heksametildisilazan fiyatı) saflık derecesine, paketleme spesifikasyonuna ve sipariş hacmine göre önemli ölçüde değişiklik gösterir. Aşağıdakiler, Çin-menşeli ürün için (fabrika çıkışı- bazında) 2025 yılı gösterge niteliğindeki referans fiyatlarıdır:
%98,0'dan büyük veya eşit
%99,5'ten büyük veya eşit
%99,999'dan büyük veya ona eşit (5N)
HMDS ile ilgili Sıkça Sorulan Sorular
S: HMDS'nin açılımı nedir? HMDS'nin tam formu nedir?
HMDS'nin anlamıHeksametildisilazan- tam kimyasal adı 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazandır, aynı zamanda heksa metil disilazan olarak da yazılır. Kimyada HMDS, özellikle (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ yapısına sahip bu organosilikon bileşiğini (CAS 999-97-3) ifade eder. Not: "HMDS" ilgisiz alanlarda da (örneğin tıbbi, askeri veya tarımsal bağlamlarda) kısaltma olarak kullanılır, ancak kimya ve yarı iletken üretim bağlamlarında HMDS her zaman heksametildisilazan anlamına gelir.
S: Yarı iletken üretiminde HMDS ne için kullanılır?
HMDS, fotorezist kaplamadan önce silikon levha yüzeylerine uygulanan buhar-fazlı yapışma arttırıcı (astar) olarak kullanılır. Hidrofobik bir trimetilsilil tek tabakası oluşturmak için yüzey Si-OH gruplarıyla reaksiyona girer; bu, fotodirenç yapışmasını önemli ölçüde artırır, ıslak geliştirme sırasında delaminasyonu önler ve ince devre modellerinin boyutsal doğruluğunu sağlar. Eski 200 mm'den son teknoloji 300 mm EUV litografi hatlarına kadar, dünya çapında hemen hemen her silikon levha fabrikasında standart bir işlem malzemesidir.
S: Endüstriyel Sınıf ve Elektronik Sınıf HMDS arasındaki fark nedir?
Endüstriyel Sınıf (%98,0'den büyük veya eşit) dolgu maddelerinin (füme silika, TiO₂), kaplamaların ve eser metal içeriğinin kritik olmadığı genel sililasyon uygulamalarının yüzey işlemi için uygundur. Elektronik Sınıf (%99,999'a eşit veya daha büyük, 5N), -ppb'nin altında metalik kirlenmenin cihaz arızalarına neden olacağı yarı iletken litografi için zorunlu olarak 1 ppb'nin altında - bireysel metal safsızlıkları gerektirir. Electronic Grade, ultra-temiz ISO 14644 koşulları altında kuvars-astarlı veya sertifikalı ultra-temiz çelik varillerde paketlenir ve her partiye tam bir ICP-MS eser metal raporu eşlik eder.
S: HMDS neden suyla reaksiyona giriyor ve nasıl saklanmalı?
HMDS, hidrolize oldukça duyarlı bir Si–N–Si bağı içerir: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃. Açığa çıkan amonyak, kapalı kaplarda basınç oluşumuna neden olur ve ortaya çıkan heksametildisiloksan (HMDSO) ürünü kirletir. Bu nedenle tüm kaliteler, her türlü nem kaynağından uzakta, 0-25 derece sıcaklıkta, kapalı kaplarda kuru nitrojen altında saklanmalıdır. Açık kaplar, her kullanımdan sonra derhal yeniden-kapatılmalı ve nitrojenle örtülmelidir.
S: HMDS nedir ve HMDSO'dan farkı nedir?
HMDS (heksametildisilazan, CAS 999-97-3) bir Si–N–Si bağlantısı içerir ve aktif sililleme reaktifidir. HMDSO (heksametildisiloksan, CAS 107-46-0) bir Si–O–Si bağlantısı içerir ve HMDS'nin hidroliz yan ürünüdür; çok daha az reaktiftir. HMDS, kimyasal yüzey değiştirici ve sililasyon reaktifi olarak kullanılır; HMDSO esas olarak reaktif olmayan bir silikon sıvısı ve HMDS sentezi için hammadde olarak kullanılır. Litografi veya farmasötik prosesler için malzeme belirlerken bu ikisinin karıştırılmaması gerekir.
S: Bir HMDS tedarikçisinden hangi sertifikaları talep etmeliyim?
Endüstriyel uygulamalar için: ISO 9001 (kalite yönetimi) ve ISO 14001 (çevre). Farmasötik sınıf için: GMP uyumluluğu, USP/EP-referanslı COA ve üçüncü-taraf QC raporları sağlama yeteneği. Elektronik kalite için: alt yarı iletken fabrika kalifikasyonunun (örneğin, SMIC, UMC sertifikaları), SEMI F47 veya eşdeğer malzeme standartlarına uygunluğunun, parti başına tam ICP-MS iz metal raporunun ve ISO 14644 sertifikalı temiz ambalajın onayı. Tüm kaliteler, uluslararası ihracata yönelik güncel REACH ve TSCA kayıtlarını taşımalıdır.
S: HMDS suyla reaksiyona girdiğinde ne olur?
HMDS, hidroliz yoluyla suyla hızla reaksiyona girer: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH → (CH₃)₃Si–O–Si(CH₃)₃ + NH₃. Ürünler heksametildisiloksan (HMDSO) ve amonyaktır. Bu reaksiyon ekzotermiktir ve kapalı kaplarda basınç oluşturan ve ürünün saflığını bozan amonyak gazı üretir. Endüstriyel - dahil tüm HMDS sınıflarının - her zaman kuru nitrojen altında saklanması ve taşınmasının nedeni budur. Ortam nemi bile uzun depolama süreleri boyunca yavaş hidrolizi başlatabilir.
S: HMDS'nin ana alternatifleri nelerdir ve HMDS ne zaman tercih edilir?
Yaygın sililleme maddesi alternatifleri arasında trimetilklorosilan (TMCS), N-metil-N-trimetilsililasetamid (MSA) ve N,O-bis(trimetilsilil)asetamid (BSA) yer alır. HMDS, hafif reaksiyon koşulları gerektiğinde (HCl yan-ürün olmadığında), yüksek sililasyon verimi kritik olduğunda veya proses, asidik veya korozif yan-ürünlerden - minimum düzeyde kontaminasyon gerektirdiğinde tercih edilir; bu da onu yarı iletken levha muamelesi ve farmasötik sentez için standart seçim haline getirir. Maliyetin birincil faktör olduğu toplu endüstriyel hidrofobizasyon için TMCS daha düşük maliyetli bir alternatif olarak kullanılabilir.
Endüstri Referansları ve Standartları
Kapsamlı fizikokimyasal özellikler, toksikoloji verileri, GHS sınıflandırmaları ve mevzuat bilgileri.
Yarı iletken malzemelerin saflık spesifikasyonları ve yeterlilik protokolleri için uluslararası standartlar organı.
Resmi AB REACH dosyası: tehlike sınıflandırmaları, maruz kalma senaryoları ve düzenleme durumu.
Analitik ve yüksek{0}}saflıkta reaktifler konusunda küresel otorite; HMDS kalite kıyaslaması için referans standardı.
Teklif Al · Teknik Danışmanlık
HMDS Fiyatlandırması ve Ürün Desteği Talebi
Endüstriyel, Farmasötik ve Elektronik Sınıf HMDS'yi (CAS 999-97-3) rekabetçi fiyatlandırma ve esnek ambalajla tedarik ediyoruz. Özel bir fiyat teklifi, SDS/MSDS veya uygulama rehberliği için ekibimizle iletişime geçin.
İlgili ürünler: Trimetilklorosilan (TMCS) · Heksametildisiloksan (HMDSO) · Diğer Organosilikon Ara Maddeleri
Popüler Etiketler: heksametildisilazan, Çin heksametildisilazan üreticileri, tedarikçileri, potasyum hidroksit sıvısı, Propanoyl klorür, Sülfolan Cas
